Modelization, simulation and design of micro-electro-mechanicazed systems (mems) preconcentrators for gas sensing

Inglés Bort, Roser

Description:

Nowadays the allowed limits of volatiles that are toxic at very low concentrations are becoming restrictive. For this reason, preconcentrators which let detection at low levels are becoming more important and its study is increasing.In this thesis, our aim is to design a planar preconcentrator in silicon technology, in order to be able to design in the same substrate the preconcentrator and the sensor system. Simulations have been developed to study its behaviour. A good homogenisation temperature is needed in order to obtain big concentrations in a narrow desorption peak. We will develop new designs which improve homogenisation temperature. Also, a large area is needed in order to have more adsorbent material which ensures more concentration. New design have been fabricated and characterized. Experimental results validate our simulations and let us to develop future designs avoiding time and cost fabrication.
Hoy en día, la normativa sobre gases que son tóxicos a muy bajas concentraciones se está haciendo muy estricta. Por esta razón, los dispositivos como los preconcentradores que permiten la detección de estos gases a bajas concentraciones se están investigando cada vez más.En esta tesis se hace un estudio sobre preconcentradores planos fabricados en silicio, con la idea de poder integrarlos con el sistema sensor. Estos preconcentradores se han simulado para comprender mejor su funcionamiento. Se ha hecho un estudio para conseguir una óptima homogenización de temperatura en el área calentada. Se han fabricado nuevos diseños con calefactores optimizados. También se han fabricado membranas grandes para poder depositar más material adsorbente y así incrementar la capacidad de concentración. Los nuevos diseños han sido caracterizados para validar las simulaciones y poder crear un modelo que sirva para probar nuevas ideas de diseño evitando los largos y costosos procesos de fabricación.

Type:

info:eu-repo/semantics/publishedVersion
info:eu-repo/semantics/doctoralThesis

Contributor:

Departament d'Enginyeria Electrònica, Elèctrica i Automàtica
Universitat Rovira i Virgili.

Títol:

Modelization, simulation and design of micro-electro-mechanicazed systems (mems) preconcentrators for gas sensing

Language:

eng

Subject:

621.3 - Enginyeria elèctrica. Electrotècnia. Telecomunicacions

Format:

application/pdf

Creator:

Inglés Bort, Roser

Rights:

info:eu-repo/semantics/openAccess
ADVERTIMENT. L'accés als continguts d'aquesta tesi doctoral i la seva utilització ha de respectar els drets de la persona autora. Pot ser utilitzada per a consulta o estudi personal, així com en activitats o materials d'investigació i docència en els termes establerts a l'art. 32 del Text Refós de la Llei de Propietat Intel·lectual (RDL 1/1996). Per altres utilitzacions es requereix l'autorització prèvia i expressa de la persona autora. En qualsevol cas, en la utilització dels seus continguts caldrà indicar de forma clara el nom i cognoms de la persona autora i el títol de la tesi doctoral. No s'autoritza la seva reproducció o altres formes d'explotació efectuades amb finalitats de lucre ni la seva comunicació pública des d'un lloc aliè al repositori institucional de la Universitat Rovira i Virgili. Tampoc s'autoritza la presentació del seu contingut en una finestra o marc aliè a aquest repositori (framing). Aquesta reserva de drets afecta tant als continguts de la tesi com als seus resums i índexs.

Date:

2010-11-29

Publisher:

Universitat Rovira i Virgili

Subject:

621.3 - Enginyeria elèctrica. Electrotècnia. Telecomunicacions

Language:

eng

Publisher:

Universitat Rovira i Virgili

Source:

TDX (Tesis Doctorals en Xarxa)

Identifier:

urn:isbn:9788469403273
http://hdl.handle.net/10803/8483

Format:

application/pdf

Keywords:

Modelització i simulació preconcentradors

Date:	2010-11-29
Departament/Institute:	Departament d'Enginyeria Electrònica, Elèctrica i Automàtica Universitat Rovira i Virgili.
Director:	Ramírez Falo, Jose Luis
Author:	Inglés Bort, Roser
Title:	Modelization, simulation and design of micro-electro-mechanicazed systems (mems) preconcentrators for gas sensing

Information