Autor segons l'article: E. Llobet F.E. Annanoucha, I. Gràcia E. Figueras C. Cané S. Vallejos
Departament: Enginyeria Electrònica, Elèctrica i Automàtica
Autor/s de la URV: LLOBET VALERO, EDUARD F.E. Annanoucha, I. Gràcia E. Figueras C. Cané S. Vallejos
Paraules clau: AACVD functionalization Gas sensor arrays
Resum: Abstract The self-heating capability of MEMS-based devices is used to grow locally into the sensing active area of monolithic gas sensor microarrays differently-functionalized materials via aerosol-assisted CVD. Results derived from SEM, TEM, XRD and Raman demonstrate the integration of non-functionalized (WO3-x) and functionalized nanostructures with gold (WO3-x/Au) or platinum (WO3-x/Pt) NPs into the array. Tests of these microarrays toward various concentrations of reducing gases show stable and reproducible responses, with the highest responses (R) for WO3-x to carbon monoxide (e.g. R = 4.3-80 ppm), for WO3-x/Au to ethanol (e.g. R = 7-80 ppm) and for WO3-x/Pt to hydrogen (e.g. R = 3.6-80 ppm). Principal component analysis of the sensor response replicates to each gas and concentration suggest that the differences in the sensing properties of each element of the array provide the complementary information to discriminate H2 and EtOH from CO. © 2015 Elsevier B.V. All rights reserved.
Grup de recerca: Microsystems and Nanotechnologies for Chemical Analysis
Àrees temàtiques: Enginyeria electrònica Ingeniería electrónica Electronic engineering
Accès a la llicència d'ús: https://creativecommons.org/licenses/by/3.0/es/
ISSN: 0925-4005
Identificador de l'autor: 0000-0001-6164-4342 n/a n/a 0000-0002-4229-3214 n/a n/a
Data d'alta del registre: 2015-08-05
Pàgina final: 383
Volum de revista: 216
Versió de l'article dipositat: info:eu-repo/semantics/acceptedVersion
URL Document de llicència: https://repositori.urv.cat/ca/proteccio-de-dades/
Entitat: Universitat Rovira i Virgili
Any de publicació de la revista: 2015
Pàgina inicial: 374
Tipus de publicació: Article Artículo Article
Repositori URV